小型探针台系统

CS系列探针台最大可用于6英寸以内样品测试 ；
可满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等。

特点/应用
◆满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等
◆最大可用于6英寸以内样品测试
◆同轴丝杠传动结构，线性移动
◆可放置于手套箱内使用
◆形状轻巧，操作方便，价格实惠

◆台体规格
尺寸 4英寸/6英寸
水平旋转 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y移动行程 4英寸4英寸
X-Y移动精度 10微米
样品台Z轴调节 可升降10mm
样品固定 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台 U型针座平台，最多可放置6个探针座
背电极测试 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
外形尺寸 400mm长400mm宽*500mm高
重量 约25千克

◆光学系统
显微镜类型 单筒显微镜/体式显微镜
放大倍率 16X-200X
移动行程 水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm
光源 外置 LED无极调节亮度环形光源
CCD 200万像素/500万像素/1200万像素

◆定位器
X-Y-Z移动行程 12mm12mm12mm
移动精度 10um/2um/0.7um/0.5um
吸附方式 磁力吸附/真空吸附

◆线缆
同轴线/三轴线
漏电精度 10pA/100fA/10fA
固定探针 弹簧固定/管状固定
接头类型 BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径 0.2um/1um/2um/5um/10um/20um
针尖材质 钨钢/铍铜

◆可选附件
加热台
显示器
转接头
射频测试配件
屏蔽箱
光学平台
镀金卡盘
光电测试配件