利用FDTD的参数扫描分析薄膜中WO3层厚度

本文通过FDTD的参数扫描功能分析了薄膜中WO3层厚度对反射率影响，结果曲线如下图所示。

建模及数据分析过程主要如下：

点击Materials

点击Add，选择Sampled 3D data

点击Import，在Select File中选择折射率文件，导入即可。

结构添加可以直接查看WO3.fsp文件中的设置，这里只需要设置几何位置和材料属性，记得WO3材料选用刚才添加的。

由于你这个是薄膜结构，X和Y方向是无限延伸的，z方向是你的结构，因此X，Y方向设置成周期性边界条件，边界条件中PML层profile可以默认standard，也可以设置成steep
angle，可以提高计算速度。

结构尺寸上按需求设置，X，Y方向没有特别要求，Z方向最小值应设置在W层中，最大值在WO3上方，同时远离结构至少半个波长。其他不需要特别修改，默认即可。

光源选择平面波，入射方向设置z负方向。光源尺寸大于FDTD尺寸（如果没有大于会在仿真时自动拓展），光源放置在结构上方，具体可以对比结构尺寸和光源尺寸查看。

随后设置入射光波长范围，这里设置成0.4~0.9。

主要设置反射率监视器。

监视器类型选择Frequency-domain field and power。

监视器选择Z-normal，XY平面尺寸大于FDTD尺寸，大了无所谓，超出的部分不会记录数据，主要是设置Z方向的位置。反射率监视器在光源和FDTD上边界中间。

建模设计过程没有先后次序，什么时候设置都可以。网格设置基于结构，并写入响应结构的名称。

参数扫描在软件右下角，也可以通过view-windows-optimizations and sweeps打开。

选择第一个新建sweep

右键编辑，从下拉菜单中选择自己想要扫描的参数，并添加扫描范围和扫描频率，在下方添加结果监视器，这里监视器选择前面设置的反射率监视器。

运行扫描，点击运行按钮，等待运行结束即可。

最后，可以将数据输出到matlab中，再利用matlab进行后处理。

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